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半自動雙瓶GC
ST8220 半自動雙瓶GC是一個半自動供應系統,專為供應的易燃易爆、腐蝕性、毒性和其他有害氣體,其基本功能包括手動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發時）。ST8220半自動氣柜通過采用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置，實現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導體工藝生產過程中對特殊氣體連續供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。
適合氣體： 易燃性，腐蝕性，毒性氣體，諸如SiH4, NF3,
NH3, N2O, HCl等。
適用行業：Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED、研究所，高校實驗室等。 |
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