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地址：上海市奉賢區平莊東路2858號臨港智造園9期11幢
電話：021－68139136
電話：021－20929308
傳真：021－20929316
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網站：http://www.jsabjx.net |
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全自動雙瓶GC
ST8320 全自動雙瓶特殊氣體輸送柜是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體供應而設計的供應系統，基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發時）。ST8320全自動氣柜通過采用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置，實現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導體工藝生產過程中對特殊氣體連續供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。
適合氣體： 易燃性，腐蝕性，毒性氣體，諸如SiH4, NF3,
NH3, N2O, HCl等。
適用行業： Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED等工廠。 |
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