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            傳真：021－20929316
        
            郵件：jinhua.xu@suntochina.com
        
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             鼓泡系統
        
            
        
            常用的液態源在GAS BOX內的輸送方式采用載氣鼓泡攜帶的方式實現原料的氣化。
        
            載氣一般為高純惰性介質：N2，O2，AR,H2
        
            載氣會經過一個精密的質量流量計控制流量。
        
            
        
                    適用氣體： SICL4, GeCL4, TCS, TMB, TEOS, POCL3, 
            Dezn等。 
            
         鼓泡器內液位的變化，環境溫度的變化等原因會直接導致蒸汽濃度的變化。
        
            
        
            
        
                    		
          
        
        
        
         
           
            
        
                  		
        
        
      
        
      
        
      
        
      
        
        
        
           
            
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