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半自動VMB
VMB閥門分配箱（Valve Manifold Box），是一種內嵌多支路，實現高純氣體或液體分流的閥門箱。
VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點，壓力可被單獨地調控，從而可同時滿足不同應用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能，因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維護VMB的每一部份。除此以外，設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下，吹掃某一支路或對其進行真空抽氣。
ST2200 VMB通過采用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥等裝置，實現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導體工藝生產過程中對高純介質的連續供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。
適用氣體： 易燃性，腐蝕性，毒性氣體，諸如SiH4, NF3,
NH3, N2O, HCl等。
適用行業： Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所，高校實驗室等。 |
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